上海芯源微企业发展有限公司成立于2021年，是沈阳芯源微电子设备股份有限公司的全资子公司。上海芯源微主要开展28nm及以下高端工艺技术节点的集成电路光刻工艺涂胶显影设备、化学清洗设备及其核心零部件研发及产业化，打造更高技术节点半导体设备，更好服务前道用户。2022年，上海芯源微承担建设的“芯源微临港研发及产业化”项目主体工程在临港新片区重装备产业区全面开工，园区占地45亩、规划总建筑面积约5.4万平方米，将于2023年第四季度竣工，建成后将具备较强的国际先进水平半导体设备研发能力，加速高端半导体设备国产替代进程。